一、等离子增强化学气相沉积炉（PECVD系统）的应用：
PECVD工艺中由于等离子体中高速运行的电子撞击到中性的反应气体分子，就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应；借助射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成离子体，而等离子体化学活性很强，很容易反应，在基片上沉积出所期望的薄膜；具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点；
二、产品特点：
1、整机采用SUS304不锈钢材质，流线型外观，真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好。
2、炉子底部装有一对滑轨，移动平稳，可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却。炉盖可开启，可以实时观察加热的物料。
3、采用高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小。
4、采用SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空，一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷。
5、加热元件采用康奈尔发热丝，表面负荷高、经久耐用。设计温度1200℃，升温速率10℃/min。
6、可选配多路质量流量计，数字显示、气体流量自动控制；内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀，可通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。
7、等离子射频电源：大射频功率达500W，输出频率13.56MHz±0.005%，输入电源 208-240VAC，单相50/60Hz。
三、技术参数：
| 款式 | HTF1200-2.5/20-2M-LV-PE | HTF1200-5/20-4M-LV-PE | HTF1200-6/40-2M-HV-PE | HTF1200-8/40-4M-HV-PE |
| 设计的概念摄氏度（℃） | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
| 控温精准度（℃） | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
| 升温区直径怎么算（mm） | 25 | 50 | 60 | 80 |
| 供暖区长（mm） | 200 | 200 | 400 | 400 |
| 升温管长（mm） | 450 | 450 | 1000 | 1000 |
| 恒溫区时长（mm） | 80 | 80 | 150 | 150 |
| 固定电压等级（V) | 220 | 220 | 220 | 220 |
| 电机功率电机功率(KVA) | 1.2 | 1.2 | 3 | 3 |
| rf射频开关电源工作电压（W) | 5~300 | 5~300 | 5~500 | 5~500 |
| 涡流冷水机组 | HTF-101 | HTF-101 | HTF-104 | HTF-104 |
| 燃气管道安装机系统 | HTF-2F | HTF-4F | HTF-2M | HTF-4M |
